FIB-SEM是聚焦离子束（Focused Ion beam，FIB）与扫描电子束（Scanning Electron Microscope, SEM）双束系统，聚焦离子束可用于对样品进行微加工，扫描电子束可用于样品表面形貌微观成像和“二维”表征分析，也能对FIB加工过程进行实时观测，因此，FIB-SEM系统可实现对样品进行定点蚀刻、沉积，截面切割、TEM电镜样品制备、微纳器件制备、电路修复、三维结构表征等。分析测试中心电镜室负责一台FIB-SEM系统Helios NanoLab G3 CX的运行，根据所内科研工作需求，我们应用此台FIB-SEM开展了定点刻蚀、沉积、TEM样品制备及三维重构等工作，以下简要介绍各项工作，重点介绍FIB-SEM技术在微纳米级单颗粒三维重构中的应用。

 

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