型    号：Nava Nano SEM 450

放置地点：科技孵化园111室

联系方式：

联 系 人：赵宏龙

电    话：15885085686

主要规格及技术指标：

。分辨率

二次 电子（SE ）像

高真空模式：1.0nm@15kV ; 1.4nm@1kV

低真空模式 ：1.5nm@ 0kV ; 1.8nm@3kV

放大倍率 ：35～900000倍 ，根据加速 电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。

。加速 电压：0.2 – 30 kV   着陆电压：0.05-30kV

。样品室：样品室左右内径：大于379mm，可安装EDS＋EBSD附件

。样品 台：五轴马达驱动，最大移动范围指标：X=Y=110mm，z=25mm.

。连续旋转 ：R=360 °

。倾斜角T范 围：-15 °~70 °

。探测器：

二次电子探头 ：E-T二次电子检测器，TLD-SE极靴内二次电子检测器，TLD-BSE极靴内背散射电子检测器 ，LV D低真空二次 电子探测器 ；He lix低 真空超高分辨二次电子探测器

背散射电子探头：低电压取向背散射电子检测器（DBS）

样品室IR-CCD相机

主要功能及特色：

观察、分析和记录材料的微观形貌，通过配备EDS、EBSD等进行材料组成与结构分析。具有高真空和低真空(<200 Pa)两种模式。

EDAX公司能谱仪（EDS）与电子背散射衍射（EBSD）一体化系统。

  喷金一体化。