型    号：VEGA3 SBH/SBU

放置地点：C03-201

联系方式：

联 系 人 :  李娟

电    话 :  18185000402

主要规格及技术指标：

分辨率 ：高真空(二次电子3 .0nmat30kv ，8 .0nmat3kv

(背散射电子)：3.5nmat30kV(LMH型选配 ，LMU型标配) 低真空(低真空二次电子)   3 .5nmat30kV(LMU型选配)

放大倍数：2 .5to ×

真空系统： 高真空<9*10-3Pa

低真空3~500Pa ，(LMU型标配)

超低真空可至2000Pa(LMU型选配) 加速电压0 .2kVto30Kv

电子束电流1pA—2uA

样品室内部尺寸：230mm(width) × 148mm(depth)

样品台： 全自动控制

主要功能及特色：

形貌和成分测试