型 号：ZHDS400
放置地点：酝知楼442
联系方式：
联 系 人 : 魏娴
电 话 : 13985499250
主要规格及技术指标：
有机/金属镀膜室
镀膜室净尺寸: L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作,方箱式 ，配有前 、后 门 ，前门水平滑开式，材质为锻铝；后门为侧开门；
真空系统
复合分子泵+干泵+高真空插板阀，“两低一高”数显复合真空计；
真空指标：
极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分体 ，设备空载抽真空24小时)
抽速：从大气抽至10-4Pa≤30min；（短时间暴露大气，冲入干燥氮气后开始抽气），设备 升压率≤0.8Pa/h；
基片台
抽屉式结构，承载最大小于120×120mm基片；配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋 转速度0-20转/分钟可调；蒸发源到样品垂直距离 300mm；
基片台加热
加热温度：300℃PID智能温控闭环控制
蒸发源
金属源:水冷铜电极；低电压大电流的TDK-lambda电源（一个GEN8-180 ）通过切换电 极分时蒸镀；
有机源:束源式控温有机蒸发源（最高温度600° ) ; 角度向心可调（提高材料利用率,均 匀性好）,蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：独立PID智能温控蒸发；
气动挡板及源间防污隔板。
膜厚控制系统 可配进口晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚
控制方式
采用PLC+触摸屏半自动控制
报警及保护
对泵,电极等缺水,过流过压,断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互 锁保护系统。
主要功能及特色：
在惰性气体保护的环境下完成太阳能电池装片 、装料及换料取片等工作 ，具备单层 蒸镀 、多源共蒸 、分层镀膜等功能。
